NEMS/MEMS(Nano/Micro-Electro-Mechanicla Systems)는 마이크로/나노공정 기술을 포함한 다양한 분야의 지식을 기반으로 한 가장 대표적인 학제간 연구 분야이다. 나노전자소자연구실에서는 기존의 최첨단 나노반도체소자 공정기술과 나노소재 제작공정을 결합하여 다양한 나노기술기반 응용전자소자의 연구개발을 목적으로 하고 있습니다. 이를 위하여 나노테크놀로지, 바이오테크놀로지, 전기화학등의 첨단기술을 바이오센서, 화학 센서, Peristaltic mcropump, 환경모니터링용 군집형 소금쟁이 드론 로봇에 적용하는 연구를 수행하고 있다.