Research | Mems Lab

- Nanoporous Metal for SERS Substrate

- Biomedical and Chemical sensors with SERS

- Multi-electrode Peristaltic Micropump and Microfluidic devices

- PCR chip for DNA amplification

❏ NEMS/MEMS Devices

- Key technologies for sensors and microactuators

- Energy harvesting MEMS(Triboelectric, piezoelectric, electromagnetic...)

- Solar cell fabrication technology

- Nano texturing Process for Superhydrophobic surface

- MEMS Test Socket for BGA chip

❏ 관심 분야

- MEMS Mechanical Sensor (Giro, Force, Pressure, ∙∙∙ .)

- Solar cell fabrication for high efficiency

- Hybrid Piezoelectric MEMS/NEMS for Advanced Sensing

- Self-Powered Nano and MEMS sensors

▪2020년 반도체인프라구축지원사업/ 한국산업기술진흥원, 수행중

[2020.4- ]

▪ 3차원 다공성 나노구조를 이용한 label-free SERS(Surface-enhanced

Raman spectroscopy) 기반 화학 및 생체의학센서의 구현 /한국연구재단,

수행중 [2020/6.1–]

▪ 고감도 측정을 위한 표면증강 라만 산란(SERS) 기판용 후각섬모형 3차원

다공성 나노구조 금속박막제조와 화학 및 생체의학 센서에의 응용/한국연

구재단[2017/6.1 –2020/5.30]

▪ 나노 포러스 구조 바이오센서용 웨이퍼 재생기술 및 표면 요철화 기술

개발/산업통산자원부(중소기업산학협력 기술개발사업[2016.5-2017.4])

▪ 폐 실리콘 웨이퍼를 활용한 태양전지용 실리콘 웨이퍼 및 texturing 공정

개발/지식경제부(중소기업산학협력지원사업)

▪차세대 모듈형 프로브 카드 개발/지식경제부(중소기업기술혁신개발사업)

나노전자소자 연구실